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机械小硕在读

新虫 (小有名气)

[求助] PMMA光刻胶甩胶不均匀,呈散射状已有1人参与

我先说一下方法,硅片为双面氧化抛光的,首先用蒸发镀的方法在硅片上镀一层100nm的金属铝薄膜,烘烤冷却后用匀胶机甩胶,匀胶机型号为KW-4A型,转速设置为4000r/min,甩胶时间一分钟。也尝试过直接在硅片上甩胶,效果也不理想。求解http://muchongimg.xmcimg.com/dat ... es/smilies/hand.gif

PMMA光刻胶甩胶不均匀,呈散射状
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PMMA光刻胶甩胶不均匀,呈散射状-1
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ju5200

铁虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 机械小硕在读 at 2017-10-03 20:08:23
您是说光刻胶里面有杂质吗,光刻胶是刚买的,按理说不应该啊
...

对于表面材质比较特殊的情况,涂胶一般分为两步,慢速涂胶+快速涂胶
慢速涂胶用于将光刻胶延展开
快速涂胶则用于控制胶厚
你可能直接用4000转速,自然涂不开
17楼2017-10-26 11:19:30
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

首先胶量不够。
另外放射状的现象,要么胶里面有泡,要么您的片子表面不干净。
另外,胶哪里买的?发邮件给我吧。
麻烦回帖问问题的同学,直接发私信比较好,因为老是看不到站内的提醒,我也不会翻以前的帖子,2016年之前的帖子信息和联系方式都不用了,谢谢!
9楼2017-10-09 15:27:52
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zhangleiaqq

新虫 (著名写手)

4楼2017-10-03 18:51:33
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机械小硕在读

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by xiangan315 at 2017-10-03 17:43:07
胶涂少了,不够铺展,尽量保证足够多的余量;另外也可在甩胶之前可以尝试着烘一下片子

按照以往的经验,我们都是用胶头滴管滴两滴,以前并没有出现这种情况,硅片甩胶之前180度烘了一分钟,冷却后甩的胶,我下次再多滴一些试一试

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6楼2017-10-03 20:11:16
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钩左指

新虫 (初入文坛)

8楼2017-10-03 21:45:15
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xiangan315

至尊木虫 (著名写手)

胶涂少了,不够铺展,尽量保证足够多的余量;另外也可在甩胶之前可以尝试着烘一下片子

发自小木虫IOS客户端
2楼2017-10-03 17:43:07
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研材-jiali

捐助贵宾 (初入文坛)


送红花一朵
您的匀胶机是什么型号的呢,托盘的材质是铝的嘛,可以私信给我,收的比较及时。

发自小木虫Android客户端
10楼2017-10-09 16:02:22
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supermyth

铁杆木虫 (正式写手)

片子不够干净?胶没有过滤有杂质?
20楼2017-11-07 11:01:38
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yupengpeng1981

木虫 (正式写手)

你用多点胶,把substrate全cover了,然后再匀胶甩胶
23楼2018-02-03 12:00:18
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zyb223300

新虫 (初入文坛)

降低转速试一下,如果匀胶机能控制加速度的话,把加速度也降到1000以下。
26楼2018-02-24 14:06:17
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普通回帖

高二洁

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
机械小硕在读: 金币+5, 有帮助 2017-10-05 08:55:19
你是学硅太阳能电池的?我们实验室也有光刻机器

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3楼2017-10-03 17:44:12
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机械小硕在读

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by zhangleiaqq at 2017-10-03 18:51:33
有杂质,先把溶液高速离心

您是说光刻胶里面有杂质吗,光刻胶是刚买的,按理说不应该啊

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5楼2017-10-03 20:08:23
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机械小硕在读

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 高二洁 at 2017-10-03 17:44:12
你是学硅太阳能电池的?我们实验室也有光刻机器

我是学机械的,感觉现在好多专业研究微纳机电系统

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7楼2017-10-03 20:18:50
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