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【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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云由水生

新虫 (小有名气)

[求助] 如何在PDMS镀致密的金膜？已有1人参与

在PDMS上做场效应晶体管，先镀铬后镀金，无论用热蒸镀、电子束还是磁控溅射，镀的金膜均不致密，请问如何可以在PDMS得到致密的金膜？
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小草，即使被踩在脚下，也不失报春心
1楼2017-08-16 14:48:31
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13823359210

新虫 (小有名气)
这种材料最好的成膜方式是磁控溅射 。1.这种情况与材料本身有很大关系，PDMS在真空中温度过高时会释放出气体。2. 虽说磁控溅射最适合，但成膜工艺的影响比较大，一般的磁控溅射0.5um金膜时，工件温度会超过200度。

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2楼2017-08-16 23:09:56
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13823359210

新虫 (小有名气)
要在PDMS镀致密的金膜低温磁控溅射才适合

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3楼2017-08-16 23:15:14
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tzhzsxv165
4楼2017-08-17 18:14:51
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tzhzsxv165
5楼2017-08-19 06:02:17
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fqvpyga58
6楼2017-08-20 12:59:49
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15858253139

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
7楼2017-09-20 13:06:51
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091820053

禁虫 (知名作家)
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8楼2017-09-21 07:07:09
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miyoga333

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 091820053 at 2017-09-21 07:07:09
你好，我们可以镀

您好，请问目前还能做蒸镀工艺嘛，需要在玻璃片上蒸镀50nm一下的金膜
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9楼2017-09-30 08:56:11
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091820053

禁虫 (知名作家)
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10楼2017-09-30 09:13:24
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