【调剂】北京石油化工学院2024年16个专业接受调剂
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fhqmtv239

木虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射电压已有3人参与

各位达人,请教个问题,在我溅射功率一定的情况下,哪些因素可以改变电压,比如气体比例,靶基距等,还有功率一定,电压大小对沉积速率的影响?谢谢

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091820053

禁虫 (知名作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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2楼2017-08-06 09:08:59
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博锐源

新虫 (初入文坛)

压强的大小,改变。

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3楼2017-08-06 18:03:34
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fhqmtv239

木虫 (小有名气)

沉积功率一定的条件下,沉积电压大,电流小,沉积速率是快还是慢?

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

4楼2017-08-06 19:08:16
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091820053

禁虫 (知名作家)

送红花一朵
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5楼2017-08-10 10:18:59
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kkuklx

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
电压太大还会影响成膜质量
6楼2017-09-30 11:00:18
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