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[交流]
这样的电极哪儿能定做啊?
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首先需要在硅片上生长一层Si02，其目的是防止后面溅射的金属与硅之间发生扩散(工艺b)；然后将氧化过的硅片上进行光刻(工艺c)；通过溅射的方法生长Ti／Pt电极，金属Ti的作用是增加Pt与硅衬底之间的粘附性(工艺d)；最后剥离获得所需的结构(工艺e)。电极之间的凹槽宽度为30、50、100微米 QQ图片20170615180931.jpg |
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2楼2017-06-26 10:44:23
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fatewu: 金币-2, 屏蔽内容, 违规存档, 化工区禁止宣传广告，警告一次 2017-11-23 08:34:33
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3楼2017-11-22 22:56:06
笑着说、再见
新虫 (正式写手)
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4楼2017-12-21 01:38:22
90