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研材-jiali
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喷胶机，热板，匀胶机，显影机，键合机，老师再也不用担心我的实验啦！
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晶圆喷胶机 SC-200-V 喷胶机是一种能够覆盖崎岖形貌的光刻胶涂覆设备，同时对厚胶涂覆和节省光刻胶有着非常明显的优势。雾化喷头将光刻胶雾化成雾滴，溅到衬底或晶圆表面，热板加热将光刻胶溶剂蒸发，使得有用的树脂留在衬底或晶圆表面，形成相对均匀的光刻胶覆盖。 雾化喷头在衬底或晶圆上方做S形运动， 以保证每一处被均匀的被覆盖。当雾化喷头经过若干次S形扫描， 衬底表面形成均匀的光刻胶覆盖。 产品性能 Product Performance 1.喷胶范围：8英寸（向下兼容）。2.喷胶厚度均匀性：<10%@10μm 3.喷胶结构深宽比：<1。4.热板温度范围：常温~125℃ * 可定制其他规格的喷胶机。如弧形喷胶机。 应用领域 Application 1.MEMS器件制造。2.CIS三维封装。3.3D互联。4.特种半导体器件制造。  图片1.png 可编程热板 PHP-8/可编程热板 SPHP-8 产品性能 Product Performance 1.最高温度（根据不同的加热器实现不同的温度）： a)150℃ ；b)200℃ c)300℃； d)500℃ ； 2.可设阶梯温度值30个阶段单个阶段定时最长可达50分钟;3.可调升温度速率，手动输出加热输出值可设定，范围为0.1~1；4.Lift pin 定时取片功能;5.Lift pin 高度可调，精度可达100μm可实现接近式烘烤；6.可储存20个程序；7.温度精度：<100℃ ±1℃; >100℃ <1%. 温度均匀性：<100℃ ±1℃; >100℃ <1%.8.阳极氧化铝或Teflon表面等（具体材料与温度有关）；9.含密封上盖 *SPHP-8没有Lift pin和密封上盖（可定制密封上盖）。  图片2.png  图片3.png 显影机 产品介绍 显影机一般由工艺腔体、控制系统、动力部分及显示部分、夹具、储液罐等组成。采用喷雾式或者puddle式显影方法，晶圆被吸附于真空吸盘夹具上并旋转，显影液通过喷嘴喷射或者滴到晶圆上，显影完成后清洗喷嘴对晶圆进行冲洗，提高晶圆的旋转速度，将其甩干。 产品性能 1.基片尺寸：≤6英寸；2.PP 耐腐蚀腔体；3.转速范围：0-1500rpm；4.转速精度：±5rpm；5.多喷嘴自动切换；6.喷雾形状：锥形、扇形；7.手动式压力调节；8.触摸屏（10.4英寸）操作；9.大容量压力罐（15L）。  图片4.png 匀胶机 RC-150 产品性能 Product Performance 1.调速范围：300~8000rpm,可分十段自由设定；2.匀胶机时间设定：设定时间0~200s,可根据分段匀胶自由设定；3.胶的均匀性：优于±2%；4.控制方式：全自动化方式；5.托盘尺寸：6英寸（向下兼容）；*可按客户需求定制。  图片5.png 苏州研材微纳科技有限公司 Suzhou Research Materials Microtech Co., Ltd Tel: 0512-68636965 QQ：3307668481 Fax: 0512-62872362 Phone:13739174085 Email: hujl@rdmicro.com Address:苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号苏州纳米所加工平台B705 ********************************************** 合作单位友情链接： 中科院苏州纳米所http://www.sinano.cas.cn/ 中科院微电子所http://www.ime.ac.cn/ 苏州美图半导体http://www.memstools.cn/ [ Last edited by 研材-jiali on 2017-5-17 at 15:16 ] |
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