仿真分析ICP刻蚀硅片时工艺参数对刻蚀形貌的影响，有做过这方面的吗
本科毕业论文，导师要我仿真分析ICP刻蚀硅片时工艺参数对刻蚀形貌的影响，以及腔室内气体分布模拟，有做过这方面的吗，silvaco能做出来吗，有相对容易学的软件吗
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本科就搞这个，厉害
有比silvaco更难的软件，comsol
完全不会呀，COMSOL更不会。
机械，导师是做微电子方向的
，
记得清华大学有个硕士论文做ICP仿真的，可以看一下