在硅片基底上用正胶+lor(1um)做的光刻,线宽10um,然后镀100nm的Cr剥离,用SEM观测发现所镀Cr两边的侧壁长出了一道墙,像是延光刻胶长出来,不知道有没有解决方法。 返回小木虫查看更多
这个不是很普通的剥离工艺么?还至于用到双层胶?
好吧,你想要小线宽是多小?10u随便做啊
10um线宽已经够大的了,直接单层正胶就可以了
这个不是很普通的剥离工艺么?还至于用到双层胶?
大线宽可以用负胶解决,小线宽只能用这种工艺。大线宽有这类问题现在小线宽也不敢做了
,
好吧,你想要小线宽是多小?10u随便做啊
10um线宽已经够大的了,直接单层正胶就可以了