求助，请问哪里可以做6寸wafer的TiN的原子层沉积？
如题，
6寸，
TiN，需要有氨气，
ALD。
收费什么的都不是问题，近期急需，有资源的虫友麻烦可以给个信息。
谢谢
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，
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可以做，ALD