不腐蚀铝的硅蚀刻液有哪些
RT
请教下想要腐蚀掉铝上面的硅或者二氧化硅，但不能伤铝材，这个应该从哪方面入手开发研究？
看了一些资料，基本都是从铝缓腐蚀方面入手，但是感觉有点难度啊，酸性条件下，氟能溶解硅，但是同样腐蚀铝啊，碱性条件下，加缓腐蚀剂抑制铝腐蚀，但是硅与碱反应会很缓慢啊
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加的两种添加剂？ 专利有提到吗？
没有找到其他资料了，我看了其他文献主要是加的一些铝缓蚀剂，通过缓腐蚀再达到抑制铝不被腐蚀，而腐蚀硅，我试了几种发现抑制不住啊，有的会再加一些表活或者醇类，但是这个主要是使硅表面蚀刻的更为圆滑和均匀
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