在ITO上沉积金属剥离，图案出现毛刺到金属脱落问题
我在硅上做ITO，然后在ITO上做了光刻，采用的胶是AZ5214，转速是4000，光刻之后图案完好。随后用电子束蒸发长金属，金属厚度是10纳米的钛，180纳米的铝和60纳米的金。最后用丙酮剥离，剥离过程中图案出现很多毛刺，超声15秒图案掉了，请问大家知道是什么原因吗？
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undercut不够，确认下是缺损还是残留。也有可能是剥离的时候扯开了
是残缺的，并不是胶
光刻完扫胶了吗?没扫胶情况下金属就容易粘不牢并且容易脱落
有用氧的plasma打残胶
大概率是衬底太脏了。超声15s全部掉光，说明衬底和金属粘附性不好。
你是做完ito后划的片，还是用小片做的ito？清洗怎么清洗的？
你这个电极尺寸很大，显微镜图像不清楚，看不出是不是有鼓包，也看不出毛刺是什么类型的，