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在ITO上沉积金属剥离,图案出现毛刺到金属脱落问题

作者 liangli12
来源: 小木虫 300 6 举报帖子
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我在硅上做ITO,然后在ITO上做了光刻,采用的胶是AZ5214,转速是4000,光刻之后图案完好。随后用电子束蒸发长金属,金属厚度是10纳米的钛,180纳米的铝和60纳米的金。最后用丙酮剥离,剥离过程中图案出现很多毛刺,超声15秒图案掉了,请问大家知道是什么原因吗?

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  • 精华评论
  • bobo201266

    undercut不够,确认下是缺损还是残留。也有可能是剥离的时候扯开了

  • liangli12

    是残缺的,并不是胶

  • zuopeng142

    光刻完扫胶了吗?没扫胶情况下金属就容易粘不牢并且容易脱落

  • liangli12

    有用氧的plasma打残胶

  • yswyx

    大概率是衬底太脏了。超声15s全部掉光,说明衬底和金属粘附性不好。
    你是做完ITO后划的片,还是用小片做的ITO?清洗怎么清洗的?
    你这个电极尺寸很大,显微镜图像不清楚,看不出是不是有鼓包,也看不出毛刺是什么类型的。像这种,可以发邮件给研材微纳技术部,你要是买材料的客户,一般都会帮你分析解决的。一般来说,剥离工艺里面金属整片掉都是前处理的锅,

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