镀膜样品截面扫描电镜测试
在不锈钢基底上镀钛膜，膜厚大概在几百纳米到几个微米。想用扫描电镜看一下样品截面，之前采用线切割切开截面，然后用砂纸打磨并抛光，送样测试都看不到膜层。我想请教一下如何才能切出好的截面，SEM能清楚看到膜层？
或者哪个机构或高校能制样并测试扫描电镜，能得到比较好的镀膜截面电镜图。
谢谢！
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京公网安备 11010802022153号
FIB，北京科技大学
不用FIB，用普通的磨样抛光，腐蚀就可以。我做过类似的
这个想看到膜层可以抛光后离子研磨，去掉应力层，如果图方便可以直接FIB切割后看膜层，FIB的话我们这边有，可以私聊
关键取决于如何制样，制样过程要保护好表面的膜层。给你一个参考：
无标题.png
，
FIB 如果需要的话， 您可以私聊我，