这是块Azo吧？

请问具体是哪种靶材？是溅射前还是溅射后？

不知道你的是什么工艺，湿法成型还是HIP成型的，要结合每个工艺的特殊性来说

IZO烧结，可能是保温时间太低。其实本身就容易出现开裂的情况，所以陶瓷靶材都绑定铜背板，