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瑞红 RZJ-304 4cp的在3000rpm转速能达到5000A厚度，你看看符不符合你要求。按你的转速和厚度，一般在4cp一下能符合你的要求。不行自己用丙酮把光刻胶稀释了再做一样。
稀释了是不是胶就甩不匀了�
，
电子束的胶可以吗？
电子束的胶是不是都挺贵的啊？要便宜点的
研材微纳，选一款比较薄的光刻胶自己稀释。比如S1805。
这么低转速的胶想匀到这么薄，除非是193或者248nm的光刻胶，而且是针对12寸的。或者是电子束光刻胶。这些你都用不起。
联系我说的厂商吧。