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用磷烷或硼烷直接对硅颗粒进行热处理,是否可以进行有效掺杂?

作者 朋鸟
来源: 小木虫 950 19 举报帖子
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我想对硅颗粒进行掺杂,但不想用五氧化二磷或氧化硼从而产生二氧化硅,不知是否可以直接用磷烷或硼烷直接进行热处理掺杂,请问如何做?希望大家讨论赐教~ 返回小木虫查看更多

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