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SEM的EDS测试元素比例问题

作者 Tonia0: 来源: 小木虫 750 15 举报帖子

知道EDS是定性、半定量测试。

样品是生长在Si基板上的，元素A和Si可以生成硅化物。做了两个不同煅烧温度的样品。

测试两个样品，每个样品都取了两个测试点，其中第一个样中A元素含量是9%和2%，第二个样中A元素含量是24%和22%。能否说明第二个样中A元素的占比比第一个样多呢？

注：XRD两个样品都测了，生成化合物成分一致。返回小木虫查看更多

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精华评论

Andydu77

从结果看，当然是第二个样品A元素多
love19930205

EDS只能定性说明吧，定量用其他的方法比较好
Tonia0

引用回帖:
3楼: Originally posted by love19930205 at 2018-12-21 11:41:32
EDS只能定性说明吧，定量用其他的方法比较好

我不太需要知道具体的百分比，只想知道哪个温度能生成更多我需要的化合物。只是我不确定这种程度的半定量结果能否说明这个问题。
gxytju2008

看厚度，不过也确实很不靠谱，建议不要相信这个证据
Tonia0

引用回帖:
5楼: Originally posted by gxytju2008 at 2018-12-21 12:13:10
看厚度，不过也确实很不靠谱，建议不要相信这个证据

两个样品厚度是一致的，非要说厚度不同应该只在几个nm左右的区别。
样品又不溶于酸，ICP测不了。我也想不到要选什么来做定量分析了。
gxytju2008

引用回帖:
6楼: Originally posted by Tonia0 at 2018-12-21 11:17:46
两个样品厚度是一致的，非要说厚度不同应该只在几个nm左右的区别。
样品又不溶于酸，ICP测不了。我也想不到要选什么来做定量分析了。...

多厚，nm还是微米，太薄大部分信号都是Si基底的，怎么可能准确，扫描的半定量可以考虑WDS，另外可以考虑XRF，非要eds可以考虑透射的，没有基底影响会好一点
，
Tonia0

百度找到的EDS测试误差标准

EDS分析的相对误差也有相应的规定：
a) 主元素(>20%wt)允许的相对误差￡ ±5％。
b) ±3%wt ￡含量￡ 20%wt的元素，允许的相对误差￡ 10％。
c) ±1%wt ￡含量￡ 3%wt的元素，允许的相对误差￡ 30％。
d) ±0.5%wt ￡含量￡ 1%wt的元素，允许的相对误差￡ 50％。
对于不平坦试样，可用三点分析结果的的平均值表示，或在总量误差小于等于±5％的情况下，如确认没有漏测元素时，允许使用归一化值作为定量分析结果。偏差大于±5％，只能作为半定量结果处理。