硅片上旋涂pvp溶液效果如图,转速2000转。溶剂为pgmea,交联剂pmf。旋涂后硅片上pvp看上去很不均匀,请问各位大哥这是为什么呢?小弟不胜感激! 返回小木虫查看更多
流平剂了解一下 和转速应该没啥关系 加点添加剂试试,
你的硅片是刻蚀过的吗
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