没做过，气相沉积问题（对流传质问题）应该一般的CFD都可以算。
只想说一点，仿真并不是万能的，所以要讨论一个问题能不能算，你需要准确的给出输入并明确你要的输出是什么。单纯拿一个物理现象来说的话，比如气相沉积，算沉积厚度，算沉积的结晶形态和算沉积后的残余应力就是完全不同的计算方法，还有可能你想算的现在的方法很难算出来。所以明确问题是很重要的，对于任何一个现象直接说能算或不能算都是不严谨的态度。

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涉及到稀薄流体，传统的N-S方程可能不再适用