跟大家交流个问题,我用反应离子刻蚀表面具有金掩膜版的玻璃时,时间一长,表面会有发白的现象(强光下)。我尝试用Piranha溶液清洗也清洗不掉,想问问可否有人有相关经验,这个白色是由于我的结构导致的光的反射折射现象还是由于CF4刻蚀的时候产生的一些氟化的产物,该如何去除,希望有经验的大佬提醒一下。 返回小木虫查看更多
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