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关于折射率梯度薄膜，折射率的测试方法

作者 kevin123581: 来源: 小木虫 600 12 举报帖子

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如果我有一个功能梯度薄膜（厚度大概600nm，折射率梯度变化），
请问大家有何相关设备可以直接测试这个折射率的深度曲线变化图的么？

谢谢大家返回小木虫查看更多

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面条大王

你可以用Uv-vis spectrumeter 测膜的reflectance和transmittance 曲线，然后再用椭偏仪测一遍，接着用J A woollam completEASE软件，选择合适的模型仿真(不知道有没有合适的模型适合折射率梯度分布)，和uv-vis测的点透射和反射曲线拟合最好的，应该就对了。
kevin123581

引用回帖:
2楼: Originally posted by 面条大王 at 2018-10-29 19:13:23
你可以用Uv-vis spectrumeter 测膜的reflectance和transmittance 曲线，然后再用椭偏仪测一遍，接着用J A woollam completEASE软件，选择合适的模型仿真(不知道有没有合适的模型适合折射率梯度分布)，和uv-vis测的点 ...

谢谢，这样子测出来的是折射率随波长的变化情况吗？还是一个位置的折射率随深度/梯度变化的情况？

非常感谢
，
kevin123581

引用回帖:
4楼: Originally posted by 面条大王 at 2018-11-03 13:09:40
测出来的是波长和折射率的曲线图，至于折射率和深度的变化，取决于你的模型拟合，比如如果就是单层均匀厚实的膜，在wvase 软件中，直接可以用简单的柯西模型，把大概厚度，和膜材料的折射率输入进去，然后和你椭圆 ...

好的非常感谢，我去试一下
kevin123581

引用回帖:
4楼: Originally posted by 面条大王 at 2018-11-03 13:09:40
测出来的是波长和折射率的曲线图，至于折射率和深度的变化，取决于你的模型拟合，比如如果就是单层均匀厚实的膜，在wvase 软件中，直接可以用简单的柯西模型，把大概厚度，和膜材料的折射率输入进去，然后和你椭圆 ...

我试了一下，因为我的薄膜含有碳，操作员说碳没法测，哈哈蛋碎了
chen32090313

还是椭偏仪最准
kevin123581

引用回帖:
7楼: Originally posted by chen32090313 at 2018-11-08 14:28:37
还是椭偏仪最准

谢谢。我这边操作员说碳无法测量。我的薄膜是含有碳的