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氮化硅陶瓷测试

作者 anansbw
来源: 小木虫 550 11 举报帖子
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哪位大神做氮化硅陶瓷,请教下测试样品制备的问题(O_O)?

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  • 精华评论
  • zmx371425

    你测啥呀

  • anansbw

    想问下SEM样品用什么侵蚀?

  • 果么果么罗

    等离子刻蚀,CF4/O2,功率30,时间60(根据样品有所不同)

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