。。。这神马审稿人这蛋疼。。。你啥样品，最简单的办法就是同样材料的样品给他做个不同真空度的贴上

这样回复：即使按真空度1.11*e-003Pa（即8.3e-6 Torr）计，其SEM真空腔内的分子平均自由程也高达600cm，该值远远大于测试时的工作距离（自己补值），故测试时的电子束近乎无散射地直接入射到样品表面，因此1.11*e-003Pa的气压对SEM测试的影响可忽略不计，更不用说更高的真空度了。

实际上，对于一些液体样品，在10Pa到1Pa的气压下都是可以测量的。

1e-5 Torr，分子平均自由程为500cm，参见：
https://wenku.baidu.com/view/683dae035acfa1c7aa00ccf5.html，