当前位置: 首页 > 微米纳米 >有做砷化镓干法刻蚀的吗 求教用什么气体

有做砷化镓干法刻蚀的吗 求教用什么气体

作者 kawasumi66
来源: 小木虫 300 6 举报帖子
+关注

一般用什么气体 比较好。目前我们只有氯气 能不能刻 有什么问题

 返回小木虫查看更多

今日热帖
  • 精华评论
  • 微纳-加工

    我们经常刻的

  • MEMSlee

    可以做的BCL3和CL2

  • 当你当年

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by 微纳-加工 at 2018-09-17 13:32:34
    我们经常刻的

    你好,请问下BCl3和Cl2的流量各是多少呢

猜你喜欢
下载小木虫APP
与700万科研达人随时交流
  • 二维码
  • IOS
  • 安卓