1:Ti靶在300W的溅射功率下,出现如图的情况,是否正常?对后面该靶继续使用是否有不利的影响。 2:靶材能承受的最大的溅射功率/溅射电流是由什么决定的 微信图片_20180913145952.jpg 返回小木虫查看更多
需要SIMS测试可以联系553503294qq
应该不影响,不过可以将表面的一层先打掉在继续使用
不影响,这是正常现象。
靶中毒了呗,每次溅射前打掉表面的一层
这个钛靶晶粒尺寸太大了,肉眼都能看到雪花片,明显不合格。换个好靶再弄呗,
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