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器件怎么用SEM看截面?如何切片?

作者 kin123321
来源: 小木虫 200 4 举报帖子
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以MOSFET为例,如果想看沟道长度方向的截面图,比如宽度为20微米,应该用什么方法切片?
给了个示意图,这个尺寸为50nm以下了,是用什么方法切的片?

器件怎么用SEM看截面?如何切片?
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  • 精华评论
  • gxytju2008

    图上这个可以用fib做,你这个有点太大了。?

  • ujswang

    双束电镜 FIB

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