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测试薄膜成分用什么测试手段比较好

作者 7号小鱼
来源: 小木虫 350 7 举报帖子
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大家好,我用脉冲激光沉积制备GeTe系薄膜,想问下大家,用什么手段来表征薄膜成分比较好呢?我试了XPS,EDS结果都不满意……

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  • 精华评论
  • 7号小鱼

    不好意思哦,前面没说明白,我需要的是能定量表征薄膜成分多少的手段,谢谢大家了

  • dkfasdlkf

    东西可以破坏不,可以的话用ICP

  • 如烟!!!

    您好,我想问一下,文献中都是室温镀GeTe再退火,那为什么不直接高温镀膜呢?谢谢

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