都可以

估计后一种不均匀

这两种方式在一定范围内都可以改善涂层的均匀性，适当提高靶基距离也可以提高均匀性，改变基体与靶材的相对角度也可以改善均匀性，一般远端稍微倾斜3到5度

是让基底旋转还是放在两靶中心位置让其共溅射

这两种方法都可以，看你设备的情况允许。一般来说，第一种镀出膜层的效果要更好一些

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