当前位置: 首页 > 功能材料 >磁控溅射遇到的一些问题,请大神们多多指教

磁控溅射遇到的一些问题,请大神们多多指教

作者 tzsigouzzz
来源: 小木虫 300 6 举报帖子
+关注

最近在用等离子体增强磁控溅射做CrN系列的涂层,主要掺杂元素是Al,Si。发现涂层沉积时间不能很长,超过3小时样品表面就会出现发白或者灰蒙的现象,涂层厚度只有1-2μm左右。本底真空是-4级别的,保压的话每晚会漏3-4Pa感觉也还好。实验中靶功率和偏压也不大,很是苦恼,请各位大神帮忙分析下可能什么原因

 返回小木虫查看更多

今日热帖
  • 精华评论
猜你喜欢
下载小木虫APP
与700万科研达人随时交流
  • 二维码
  • IOS
  • 安卓