最近在用等离子体增强磁控溅射做CrN系列的涂层,主要掺杂元素是Al,Si。发现涂层沉积时间不能很长,超过3小时样品表面就会出现发白或者灰蒙的现象,涂层厚度只有1-2μm左右。本底真空是-4级别的,保压的话每晚会漏3-4Pa感觉也还好。实验中靶功率和偏压也不大,很是苦恼,请各位大神帮忙分析下可能什么原因 返回小木虫查看更多
这是发矇了
表面应该是铝 ,
扫的什么能谱
这是发矇了
表面应该是铝
,
扫的什么能谱