表示不懂

之前看了一个氧化物陶瓷靶变黑的解释，说的是因为金属阳离子与阴离子氧的溅射产额不同，造成了氧化锌陶瓷靶的表面缺氧，从而形成了缺氧氧化物，所以颜色变黑！但是你这个靶材我好像看了有文献介绍说有黑化过程，具体情况你可以去了解一下

很正常，国内做的氧化物靶材普遍在高温烧结过程中处于缺氧状态；
同时宝气娃儿说的很对，实际溅射过程中，氧更容易缺失，造成非完全氧化状态。
普遍的工艺是在溅射过程中补充氧气进行反应溅射，可以提高膜层透过率调节电导率，同时靶面缺氧状态会得到很好改善，