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PVD法镀膜,经高温真空扩散,计算扩散深度问题

作者 Zhongguozhy
来源: 小木虫 450 9 举报帖子
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通过PVD法在纯铁基体上镀膜,高温真空扩散后要计算膜面原子扩散进入基体深度,是从膜面表面开始计算还是从膜面与基体交接处开始作为0点计算扩散深度,求大神指导

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  • 精华评论
  • 15161136919

    我也做金属膜的,采用的电阻加热蒸镀,居然还能计算,不需要考虑蒸发和基板致密度问题吗,

  • 野人禾禾

    这个有计算公式?不应该是测量么.... SIMS

  • 李木子li

    这个厚度肯定在扩散前的啊

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