这个感觉好难，一般是刻蚀，然后把下面腐蚀掉

有专门做这个的，掩膜板。

您需要的线宽比较小，由于镂空网版厚度本身，决定透光网版的孔做不到5um以下；另外您在使用过程无法保证绝对的贴合间隙为0，所以最终蒸镀出来的结构变形非常大。镂空网版不适合当前工艺，还是得考虑用光刻+金属沉积后剥离，这样图形精度可以保证，