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MPCVD波导三销钉调试方法

作者 13297905202
来源: 小木虫 350 7 举报帖子
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奋斗在科研路上的朋友们大家好!
     本人研一小学弟一枚,目前因为实验室搬家,导致MPCVD设备激发的等离子体球有点诡异。目前情况如下:
     当气压低于840Pa,在腔体内产生两个等离子体球。
      请各位大牛指点下,有木有调试三销钉的经验方法。
      感激不尽!

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  • 精华评论
  • wuxiaoah

    你用的是不是圆柱的等离子体设备啊,当气压低的时候出现两个火球,调节三销钉是没什么效果的,除了三销钉可调外天线是否可调节,你可以加我qq  376157988,

  • ljl520

    840pa是激发还是工作?

  • 学在路上

    请问一下,MPCVD装置电流维持在150 mA,调节不上怎么回事

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