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蒸镀金薄膜的台阶问题

作者 stefanie125
来源: 小木虫 250 5 举报帖子
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本人想以玻璃棱镜为基底,在其斜面上镀制金薄膜,斜面的一半镀膜,一半不镀,做出台阶来。但现在我用蒸镀的办法,在不想镀制的那一半上贴导电胶,蒸镀完成后把导电胶撕下,用原子力显微镜测量,发现有导电胶的胶残留在棱镜上,根本测不出台阶来。所以想请问各位大神,有没有什么好办法可以遮住我不想镀制的那一半,能做出一个台阶来呢?

蒸镀金薄膜的台阶问题
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  • 精华评论
  • 13823359210

    用黑色的油性笔画一条线,镀完用酒精洗掉就可以了

  • 野人禾禾

    一个以前常用的方式,少量IPA+TiO2调成的糊糊,用牙签点个点。IPA会挥发掉,就留下一个TiO2的遮蔽。沉积膜后酒精擦除就有台阶了。
    不知道你的膜层多厚,但是50nm的膜,基本台阶很清晰。

  • stefanie125

    引用回帖:
    3楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2018-01-24 13:42:38
    一个以前常用的方式,少量IPA+TiO2调成的糊糊,用牙签点个点。IPA会挥发掉,就留下一个TiO2的遮蔽。沉积膜后酒精擦除就有台阶了。
    不知道你的膜层多厚,但是50nm的膜,基本台阶很清晰。

    但是我现在存在个问题,就是我用棉签蘸酒精擦的话,很有可能把镀膜区和非镀膜区之间的分界线擦的歪歪扭扭,我现在是想让这条分界线是一条笔直的线,不止您有什么好的方法呀

  • 13823359210

    想了几天,想到了。做个精密模具把要的部分遮住,然后放入汞里,汞一般不会渗进模具与棱镜之间的缝里,可保持金层台阶完美,界线径直

  • 陈成小七玲

    掩模方法。

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