求助一种测试薄膜成分准确度高的仪器及方法
如题,小生正在做的材料靶材和薄膜成分偏离有点大,想测试具体的薄膜成分是多少,一种国外参考的方法是洗去薄膜,用ICPAES来测试成分,但是我们单位没这个仪器。 因此,我想询问一下:
1. 准确度高的成分测试仪器与方法;
2. 如果是使用ICPAES,国内哪家院校可以做,准确度如何,需要做什么准备。
如果有好的方法请不吝赐教,可追加悬赏。能提供仪器的院校,欢迎科研合作,多谢多谢。 返回小木虫查看更多
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2. 如果是使用ICPAES,国内哪家院校可以做,准确度如何,需要做什么准备。
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xrd可以测薄膜
一般ICP-AES的测试精度即可满足要求了。这种仪器现在不算重大的仪器了,很多研究组里可能就会有。在北京的话,钢铁研究总院和有色研究总院都可以对外测试。
百分之一的精度的话XRF也是完全可以达到这个精度的
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