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用SRIM软件做金刚石靶材轰击时晶格参数设置

作者 待汝归
来源: 小木虫 250 5 举报帖子
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有用SRIM软件做金刚石轰击仿真的吗,里面金刚石靶材的表面结合能,晶格束缚能,位移阈值是多少,网上没看到过这些参数啊,急求!谢谢!!!

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  • 精华评论
  • Friend007

    额 楼主用金刚石做靶材 薄膜主要的应用方向是什么呢?

  • 待汝归

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by Friend007 at 2018-01-13 07:45:33
    额 楼主用金刚石做靶材 薄膜主要的应用方向是什么呢?

    我是想刻蚀金刚石的,用SRIM研究Ar离子对金刚石的轰击溅射,但是并没有看到有关于金刚石那三个参数的值,只有石墨的,你知道材料的那三个值去哪找吗,有没有材料库之类的

  • zzzzzdu

    楼主这个问题解决了没有,我也急求这些参数,如果楼主解决了,希望能告诉我,不胜感激

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