我是用PLD脉冲激光沉积在si(100)面上长GaN,但是xrd做出来没有峰,连si衬底的衍射峰都没有。可能是样品没有放平行,但我来回放了好多次,还是没有衬底的衍射峰。求教各位有没有解决的办法。 QQ图片20180103202613.jpg 返回小木虫查看更多
你是用什么方法测的 掠入射吗
si100峰在69度,没出来可能是样品偏角过大
si上长其他材料,形成多晶的可能性更大,厚度不够大的话,常规测试很难出膜峰,建议掠入射
你是用什么方法测的 掠入射吗
我也不清楚,就是和之前一样测。之前没出现过这样的问题
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si100峰在69度,没出来可能是样品偏角过大
si上长其他材料,形成多晶的可能性更大,厚度不够大的话,常规测试很难出膜峰,建议掠入射
哇,前辈真的好厉害。以后请多多指教。