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求教为啥薄膜样品做XRD的时候,连衬底峰都没有?

作者 liuyulun1225
来源: 小木虫 550 11 举报帖子
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我是用PLD脉冲激光沉积在si(100)面上长GaN,但是xrd做出来没有峰,连si衬底的衍射峰都没有。可能是样品没有放平行,但我来回放了好多次,还是没有衬底的衍射峰。求教各位有没有解决的办法。

求教为啥薄膜样品做XRD的时候,连衬底峰都没有?
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  • 精华评论
  • SCUS112904

    你是用什么方法测的 掠入射吗

  • liuyulun1225

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by SCUS112904 at 2018-01-04 10:57:28
    你是用什么方法测的 掠入射吗

    我也不清楚,就是和之前一样测。之前没出现过这样的问题

  • juloong

    si100峰在69度,没出来可能是样品偏角过大

  • juloong

    si上长其他材料,形成多晶的可能性更大,厚度不够大的话,常规测试很难出膜峰,建议掠入射

  • liuyulun1225

    引用回帖:
    7楼: Originally posted by juloong at 2018-01-10 13:41:09
    34度不是衍射峰,是谐波效应造成的
    ...

    哇,前辈真的好厉害。以后请多多指教。

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