这似乎是靶材发生中毒了吧。看看这个链接有无参考价值：https://wenku.baidu.com/view/2e8bbc2e7e21af45b207a816.html。

ZnS没有溅射过，但是溅射过CdS

值得注意的是硫化物靶材和氧化物靶材有很大的不同。
硫化物的致密度以及结晶性都不高，而氧化物可以类似陶瓷。这方面的区别会导致离子轰击过程中会产生离子注入的情况，也就是有效撞击并不多，二次电子不多，所以辉光很容易不够亮。（建议采用下述3）

1. 上次射频溅射的参数有没有，功率和自偏压，以及气压和何种气源；
2. ZnS靶材，采用射频溅射一般不存在靶材中毒的情况（排除）；但是表面成分可能会随着溅射发生变化，所以打磨也是对的。
3. 怀疑上次溅射的条件比较极限，你可以尝试将气压提高到1~2pa，先启辉预溅射3分钟，然后再将气压降低到你所需要的值。随时关注辉光变化。当辉光暗到一定程度就不能维持了。

以上，

楼上解释好清楚，赞一个