当前位置: 首页 > 材料 >求教关于ALD原子层沉积

求教关于ALD原子层沉积

作者 niu254
来源: 小木虫 350 7 举报帖子
+关注

想用原子层沉积做金Au,简单查下百度,好像没有做金的,只有铂,铜,镍之类。请问有做金的同行吗?

 返回小木虫查看更多

今日热帖
  • 精华评论
  • hmimyboy

    没做过。有金的源吗?

  • 091820053

    有的,我们有座

  • gxytju2008

    要合成前体,有篇CM有报道

  • liukainan

    在贵金属ALD沉积中, Pt, Ag的比较多。对于Au来说,缺少热稳定且具有足够挥发分压的前驱体,相关文章请关注Chem. Mater. 2016, 28, 44-46以及Chem. Mater. 2017, 29, 6130-6136.

  • zkzm

    引用回帖:
    5楼: Originally posted by liukainan at 2017-11-15 08:45:43
    在贵金属ALD沉积中, Pt, Ag的比较多。对于Au来说,缺少热稳定且具有足够挥发分压的前驱体,相关文章请关注Chem. Mater. 2016, 28, 44-46以及Chem. Mater. 2017, 29, 6130-6136.

    这个2017年的文献 中Au前驱体 您知道哪有卖的吗? ---文章中使他们自己合成的吧?谢谢

  • 光棍9527

    金前驱体市场上很少而且非常贵,Strem公司好像只有两种金源适用于ALD.欢迎交流

猜你喜欢
下载小木虫APP
与700万科研达人随时交流
  • 二维码
  • IOS
  • 安卓