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求教关于ALD原子层沉积

想用原子层沉积做金Au,简单查下百度,好像没有做金的,只有铂,铜,镍之类。请问有做金的同行吗?  返回小木虫查看更多

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用户评论

没做过。有金的源吗?

有的,我们有座

要合成前体,有篇CM有报道

在贵金属ALD沉积中, Pt, Ag的比较多。对于Au来说,缺少热稳定且具有足够挥发分压的前驱体,相关文章请关注Chem. Mater. 2016, 28, 44-46以及Chem. Mater. 2017, 29, 6130-6136.

5楼: Originally posted by liukainan at 2017-11-15 08:45:43
在贵金属ALD沉积中, Pt, Ag的比较多。对于Au来说,缺少热稳定且具有足够挥发分压的前驱体,相关文章请关注Chem. Mater. 2016, 28, 44-46以及Chem. Mater. 2017, 29, 6130-6136.
谢谢您了。

5楼: Originally posted by liukainan at 2017-11-15 08:45:43
在贵金属ALD沉积中, Pt, Ag的比较多。对于Au来说,缺少热稳定且具有足够挥发分压的前驱体,相关文章请关注Chem. Mater. 2016, 28, 44-46以及Chem. Mater. 2017, 29, 6130-6136.
这个2017年的文献 中Au前驱体 您知道哪有卖的吗? ---文章中使他们自己合成的吧?谢谢,

金前驱体市场上很少而且非常贵,Strem公司好像只有两种金源适用于ALD.欢迎交流

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