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求教关于ALD原子层沉积

想用原子层沉积做金Au,简单查下百度,好像没有做金的,只有铂,铜,镍之类。请问有做金的同行吗?  返回小木虫查看更多

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用户评论

没做过。有金的源吗?

有的,我们有座

要合成前体,有篇CM有报道

在贵金属ALD沉积中, Pt, Ag的比较多。对于Au来说,缺少热稳定且具有足够挥发分压的前驱体,相关文章请关注Chem. Mater. 2016, 28, 44-46以及Chem. Mater. 2017, 29, 6130-6136,

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