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用磁控溅射物理气相沉积对溅射靶尺寸有没有要求？

各位虫虫，本人最近需要用到物理气相沉积设备，打算采用磁控溅射物理气相沉积，第一次接触该设备，向各位请教有没有对溅射靶尺寸要求，如果有那么溅射靶尺寸为多少？另外向各位求助哪里可以做磁控溅射物理气相沉积，谢谢！返回小木虫查看更多

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月隐青山

有的，大小和厚度，你看看你设备靶槽的尺寸。
lywzd16

有的
醉千城

有的，你需要溅射什么材料呢？
腾飞的前夕

引用回帖:
2楼: Originally posted by 月隐青山 at 2017-10-28 11:51:49
有的，大小和厚度，你看看你设备靶槽的尺寸。

谢谢，另外再向您请教，如果溅射金属，溅射靶尺寸一般多大，用什么设备加工溅射靶
，
腾飞的前夕

引用回帖:
4楼: Originally posted by 醉千城 at 2017-10-28 14:34:13
有的，你需要溅射什么材料呢？

谢谢，我溅射金属，另外再向您请教，如果溅射金属，溅射靶尺寸一般多大，用什么设备加工溅射靶？
peterflyer

溅射靶的形状与规格尺寸与溅射设备以及所需溅射基板的尺寸有关，具体规格需要咨询具体所使用的溅射设备。很多学校的材料系和物理系就有磁控溅射镀膜机器。
liusmlw

要看你的设备上装靶的尺寸