求助各位大神,最近在做DLC薄膜,明明靶材已经起辉了,但是最后硅片上却什么没有,有大神知道这可能是什么原因吗! 返回小木虫查看更多
硅片太光滑了,无粘结强度
启辉只是说明有等离子体具体反应的发生应该观察靶辉光的颜色,看一下有没有中毒,
老兄问题解决了吗
硅片太光滑了,无粘结强度
硅片太光滑了,无粘结强度
启辉只是说明有等离子体具体反应的发生应该观察靶辉光的颜色,看一下有没有中毒,
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