矩形平面靶，金属靶材，选直流电源的话，选多大功率的呢？有没有什么依据呢 返回小木虫查看更多
有计算公式吗？
金属靶材一般最大10-20w/cm2
一般多试验几次就出来了，不同金属的功率还都不一样呢
金属靶材溅射功率一般在10-20w/cm2，如果有背板，注意温度不要太高，太高会把焊接的铟熔化了。溅射功率可以慢慢身高，预溅射的时候可以调整功率，以达到最佳的成膜效果，
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有计算公式吗？
金属靶材一般最大10-20w/cm2
一般多试验几次就出来了，不同金属的功率还都不一样呢
金属靶材溅射功率一般在10-20w/cm2，如果有背板，注意温度不要太高，太高会把焊接的铟熔化了。溅射功率可以慢慢身高，预溅射的时候可以调整功率，以达到最佳的成膜效果，