如何精确测量油层厚度
油量很少，控制的油层厚度在0.2mm左右，收集在硅片上或者平底的坩埚上。现在的问题是1、收集到的油会集中在硅片中间，而不会平摊在硅片上。2、当油液收集在坩埚内，油会集中在坩埚转角或者边上，也不会平均的分布在坩埚上。现在想通过1寻找一个可以让油层平均分配在硅片或坩埚的方法2一种测量油层厚度的方法（很微量）。
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可否用椭偏测厚?