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外延薄膜和单晶薄膜

作者 kitee41
来源: 小木虫 350 7 举报帖子
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一直不是很清楚外延与单晶的关系。外延薄膜与单晶薄膜是一个概念吗?简单来问就是,外延生长的薄膜一定是单晶薄膜吗?还是说是与不是单晶薄膜,这是由外延生长所用的基底所决定的呢? 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • bryano

    外延膜就是单晶膜。不是单晶,就不能叫外延了。

  • 宇天

    单晶是有严格定义的,一般而言外延膜并不可能是只有一个单晶晶粒,所以严格意义上外延膜不能认为就是单晶膜。

  • 静哥哥

    这两个概念很简单,引用百度的定义,所谓单晶(monocrystal, monocrystalline, single crystal),即结晶体内部的微粒在三维空间呈有规律地、周期性地排列,或者说晶体的整体在三维方向上由同一空间格子构成,整个晶体中质点在空间的排列为长程有序。
    外延生长,在单晶衬底上生长一层有一定晶向要求的、与衬底晶向相同的单晶层,犹如原来的晶体向外延伸了一段,故称外延生长。
    外延生长一般而言是单晶(我个人认为),前提是其能生长成连续的薄膜。虽然外延生长开始兴核的时候可以有多个兴核晶粒,但是生长到后面连续成膜了一般会成为单晶薄膜。

  • 宇天

    理想的外延膜当然是单晶膜,但是实际情况中是外延由于多为如楼上所言的多核心生长,所以到最后不同核心生长起来的膜很大程度上是不能完全拼合形成均一的无限连续的周期性晶格(单晶膜),但是这种膜仍是外延的。

  • ustcmm

    外延膜 是指长在基底上并且与基底之间存在晶格匹配关系的,比如在STO基底上生长LMO,两种物质的晶格常数不一样,但是掌握好LMO的生长条件之后,还是可以很好的生长到基底上的,长出来的就成为外延膜,用XRD检测一下是否为单晶的 是的话就是外延单晶薄膜了,我们实验室长的都是外延单晶

  • 宇天

    引用回帖:
    7楼: Originally posted by ustcmm at 2013-09-11 19:33:15
    外延膜 是指长在基底上并且与基底之间存在晶格匹配关系的,比如在STO基底上生长LMO,两种物质的晶格常数不一样,但是掌握好LMO的生长条件之后,还是可以很好的生长到基底上的,长出来的就成为外延膜,用XRD检测一下 ...

    强调一下,完美的严格意义上的单晶并非是十分容易就能生长出来的,实际外延出的薄膜严格意义上个人认为不能认为就是单晶,因此实际上业内还有一个单晶度的概念,完美严格的单晶就像直接单晶生长的可以看做是100%,而且还有一点,XRD具有一定的检测极限,当单晶程度高于一定值时,XRD是检测不出来那剩下的百分之几的,就像金属领域里用XRD判断制备出的材料是不是纯相,当杂相含量低于一定浓度,XRD就检测不出。
    但是严格的外延膜倒是可以得到的

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