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椭偏光谱仪数据拟合复折射率

作者 空谷新苗
来源: 小木虫 100 2 举报帖子
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最近用椭偏仪测了一个二硫化钼薄膜样品的椭偏数据,但用这组数据拟合薄膜的光学参数时,一直拟合不出MSE较小的参数。因为第一次测椭偏仪,对怎样处理数据还不太了解,希望有会分析椭偏数据的老师或同学帮忙分析一下。薄膜是涂在金衬底上面的,薄膜有较大的粗糙度,所以拟合时可能要拟合粗糙度。附件里是椭偏仪测的数据,还有一篇相关文献。文献中是用六振子模型拟合的,也许会对您拟合有帮助。另外薄膜是用旋涂法制备的,光学参数可能会和文献中的区别较大,所以文献仅供参考。若有人能够较快地拟合出较准确的参数,我会另外加金币感谢。谢谢大家。

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