我们这边可以激光直写掩膜版，坐标中科大，有兴趣可以站内私信

石英版比较贵，一般都是高分辨率的时候才能用到。你做有机化工的应该用不到吧。
你可以找研材微纳，网上有。石英版和苏打玻璃版都可以做，把图纸和技术要求发他们邮箱就可以。
如果有版图设计和工艺方面的问题也可以咨询。
中科院微电子所也可以做，他们网站上有联系方式，三室。但周期和费用都不是最优的。

010-62055666微电子所三室制版

谢谢楼上各位提供的信息