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谁用过铝硅靶啊

作者 葵花点穴手h
来源: 小木虫 150 3 举报帖子
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谁用过合金硅靶材啊,小弟正准备做含硅类薄膜,要买铝硅靶或钛硅靶之类的合金硅靶。
在百度上搜了很多,都说很不错,但不知道哪家比较好,由于第一次买,不懂行情,特来问问哪位大侠用过,在哪买的,怎么样

顺便问下,铝硅靶用中频磁控溅射效果怎么样?多弧离子镀应该不能用吧 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • liulinlin

    你是用什么方法制备薄膜?溅射技术吗?我曾采用双辉技术做过Ti-Si薄膜,靶材就是用Ti和Si粉直接压制的,买的合金靶不见得好。

  • 葵花点穴手h

    引用回帖:
    : Originally posted by liulinlin at 2011-12-30 13:18:20:
    你是用什么方法制备薄膜?溅射技术吗?我曾采用双辉技术做过Ti-Si薄膜,靶材就是用Ti和Si粉直接压制的,买的合金靶不见得好。

    TiSi靶挺贵的靶,问得2、3千一个,现想用Si靶了,Si靶中频能起辉么

  • liulinlin

    我没有直接用过硅靶,不过这些非金属元素溅射率应该很低。

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