请问下，做射频磁控溅射镀膜时，靶材是YIG，做的过程中，起辉但是过会后辉光会消失，这个是什么原因？求指点 返回小木虫查看更多
你是不是深大师兄啊 呵呵
溅射室压强稳定吗？
是不是你溅射时的压强太小了？建议增大压强，然后看看辉光是否稳定。
可能是功率太高了
你好，现在YIG做的肿么样啊，我现在刚开始做YIG，起辉倒是能起辉的，但就是溅射不上。我用的仪器合肥皖仪科技产的是WYCD 450型磁控溅射镀膜机，溅射时显示的正向功率和反向功率通过两个电容调节，可我怎么调都调不到做其他材料的值，很有可能是这个问题，求指教埃�
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你是不是深大师兄啊 呵呵
溅射室压强稳定吗？
是不是你溅射时的压强太小了？建议增大压强，然后看看辉光是否稳定。
可能是功率太高了
你好，现在YIG做的肿么样啊，我现在刚开始做YIG，起辉倒是能起辉的，但就是溅射不上。我用的仪器合肥皖仪科技产的是WYCD 450型磁控溅射镀膜机，溅射时显示的正向功率和反向功率通过两个电容调节，可我怎么调都调不到做其他材料的值，很有可能是这个问题，求指教埃�