想请教一下，测试合金氮化物薄膜里的N元素，用什么测试方式比较准确？ 返回小木虫查看更多
XPS，之后通过拟合，可以得到相对准确的N含量，前提你的薄膜成分一定是均匀的
火焰原子吸收法测定、原子发射光谱仪
XPS测量内部元素的会更准确，EDX针对表面的测量好一些。
做个截面的样，再用EDS做个线扫，我做的也是合金氮化物渗层来着 ，
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XPS，之后通过拟合，可以得到相对准确的N含量，前提你的薄膜成分一定是均匀的
火焰原子吸收法测定、原子发射光谱仪
XPS测量内部元素的会更准确，EDX针对表面的测量好一些。
做个截面的样，再用EDS做个线扫，我做的也是合金氮化物渗层来着
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