PZT铁电薄膜的平均晶粒尺寸如何测定？
求教各位大牛，我在Si基板上沉积了PZT铁电薄膜，现在审稿人要求我报到处PZT铁电薄膜的平均晶粒尺寸，我该使用什么手段检测？
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SEM、AFM测表面形貌都行
，
场发射，SEM,AFM
SEM或者AFM，简单，快速。