光学透明薄膜边缘脱落问题
最近一直在采用磁控溅射制备多层膜结构，主要制备的是多层Ag和ITO光学透光薄膜，在透明玻璃表面镀多层膜结构，透光性能较高，但随着时间的推移，在玻璃边缘的薄膜会发生脱落和破损的情况，我自己考虑了几个可能性，有可能是薄膜边缘界面氧化，界面应力集中，镀膜后由于外力作用下的破损，，，我自己也想过是不是通过，在镀膜后的玻璃外延涂抹类似防氧化的保护剂或者是采用什么保护措施，希望这里和大家交流讨论，相关高手如果有解决类似问题的方法或者经验，希望能不吝赐教，谢谢好心人，
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没好心人？
可能是薄膜内应力造成的 镀膜时一般要加热300-400度 消除一下应力
也有这种可能，这次我专门拍了一个照片，您看看，最后我们在玻璃镀膜后的样品就是这样的，边缘脱落，我考虑了是不是边缘临界位置由于界面分界的原因，导致薄膜的纵向边缘部分与空气接触较多，因此造成薄膜成分的氧化，造成边缘的脱落，我是考虑过是不是在样品侧面涂覆一些防氧化物质会好些。
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有可能清洗不干净，而且边缘是比较容易受到应力影响；关于这类类型的保护，一般都是会用ITO保护胶来进行隔水隔氧
边缘脱落，局部脱落很大概率是基底清洁不到位导致的，要增加清洁度