怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。

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2楼: Originally posted by peterflyer at 2017-02-10 23:23:52
怀疑是靶材的密度不够高，其中的气孔较多所导致。气孔多一方面会导致孔中的气体的释放导致溅射室内气压的改变，导致不起弧；另一方面，气孔多的确会导致溅射中出现较多较大的飞粒，易导致镀膜产品质量下降甚至报废。

您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复

材料的纯度也要检验一下才好。

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3楼: Originally posted by gkk1991 at 2017-02-13 01:02:31
您好，此靶材的参数为AlSiCu(68.1; 5.3; 26.6wt%) , 除了密度不够高，还可能有其他原因吗？非常感谢您的回复...

感觉像是靶材中毒 靶材纯度不够或者是腔体内气氛纯度不够 既然你说别的靶没有问题 那可能就是靶材本身纯度的问题了

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5楼: Originally posted by molin-W at 2017-02-22 21:54:48
感觉像是靶材中毒 靶材纯度不够或者是腔体内气氛纯度不够 既然你说别的靶没有问题 那可能就是靶材本身纯度的问题了...

您好，我对这方面不是很了解，请问会不会是因为AlSiCu本身的导电性不好的原因？亦或者是溅射开始后靶材中毒丧失导电性
能否推荐一些有关方面的文章

Arc-PVD试验还用了AgCu和AlGa对粉末材料进行镀层，两种靶材都没问题，如果AlSiCu是因为靶材中毒的话，原因会是什么呢

靶材纯度是指什么？对靶材进行成分分析，也跟靶材标识的基本一致AlSiCu比重分别为(68.1; 5.3; 26.6wt%)
，

靶的冷却水正常吗？